下载一种晶圆级芯片尺寸封装及其制造方法的技术资料

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一种晶圆级芯片尺寸封装及其制造方法,属于传感器领域。其包括晶圆,晶圆的正面为形成图像传感区的第一表面,晶圆的负面为第二表面;第一表面自上而下:微镜头、金属互联层和光学交互区;在第一表面制作未穿透硅衬底的硅通孔和重分布层,光学交互区周围的I/...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。

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