下载利用飞秒激光湿法刻蚀制备准周期微透镜阵列的方法的技术资料

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利用飞秒激光湿法刻蚀技术制备大规模准周期微透镜阵列的方法,根据所需要加工的准周期微透镜个体平均尺寸,控制精密加工平台移动靶材的速率,飞秒激光每隔固定时间在靶材表面作用1个脉冲,在靶材上以飞秒激光脉冲作用焦点为中心产生一个光破坏区;利用体积浓...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。

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