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利用飞秒激光湿法刻蚀制备准周期微透镜阵列的方法技术
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文档序号:8531630
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利用飞秒激光湿法刻蚀技术制备大规模准周期微透镜阵列的方法,根据所需要加工的准周期微透镜个体平均尺寸,控制精密加工平台移动靶材的速率,飞秒激光每隔固定时间在靶材表面作用1个脉冲,在靶材上以飞秒激光脉冲作用焦点为中心产生一个光破坏区;利用体积浓...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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