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本发明公开一种晶圆检测系统，其包括探针台、探针卡、测试机、摄像机、光源及控制器。所述探针台通过承片台固定待测晶圆，并对该待测晶圆执行对准、定位操作，使探针卡上的探针对准所述待测晶圆。所述测试机通过电缆线连接探针卡。所述摄像机和光源均设置在探...
该专利属于无锡圆方半导体测试有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡圆方半导体测试有限公司授权不得商用。

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