下载一种电压检测用光学传感头及其制作方法的技术资料

文档序号:8531351

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本发明提供一种电压检测用光学传感头及其制作方法。该方法的核心思想是采用微纳制造技术将光学传感头中所需的偏振器、分束器、波片、反射镜等光学器件直接集成制作在被测量敏感光学材料上,制造成一个一体化的光学传感头整体,直接或者间接对电压产生感应的单...
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