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本发明涉及一种用于氧传感器的TiO2敏感层结构及其制备方法，TiO2敏感层结构通过网状处理，可抑制裂纹产生和裂纹的传播，有效的减少了热应力产生的裂纹，表面与体积比的提高，有利于氧气的吸附从而增加了TiO2敏感层敏感性和减少响应时间。本发明T...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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