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一种移位复用复频域光学相干层析扫描探测方法和系统技术方案
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文档序号:8531034
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本发明涉及移位复用复频域光学相干层析扫描探测方法和系统,包括发射光路系统、接收光路系统、分光棱镜反射光路系统、以及分光棱镜透射光路系统,通过移动载物平移台,依次改变探测主点位置,针对每个探测主点位置,用压电陶瓷平移台产生相移,获取一组定步长...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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