下载一种氮化铝晶体生长制备炉的技术资料

文档序号:8527701

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本发明公开了一种氮化铝晶体生长制备炉,包括保温装置和内部的筒状带底加热装置,并且还包括由所述氮化铝晶体生长制备炉底部穿入所述筒状带底加热装置内部的坩埚升降轴,所述坩埚升降轴与所述筒状带底加热装置同轴,并可带动安装在其端部的坩埚下部暴露于筒状...
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