温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明主要目的是设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜。本发明加热平板的加热方式是用microheater进行加热，可让加热平板本身为均匀加热，加热平板下有一组线性马达轴承架设于腔体下，利用Port与马达之间紧密结合而成，当加热平板欲作升降...
该专利属于吉富新能源科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉富新能源科技(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。