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本发明公开了激光列阵微孔成型装置与方法，步骤为：设置微孔板孔径、孔间距和孔型参数，制作加工文件；设定激光功率、脉冲宽度、脉冲重复频率和脉冲数；光束定位扫描参数的设定；工件定位：视觉系统定位，真空负压吸附探针导向板；设置开启辅助气体压力、流量...
该专利属于上海市激光技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海市激光技术研究所授权不得商用。

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