下载一种自润滑梯度复合超硬膜及其制备方法的技术资料

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本发明公开了一种自润滑梯度复合超硬膜及其制备方法,所述超硬膜包括依次设置的CrN打底层、TiN过渡层和Ti(C,N)工作层。所述制备方法包括准备真空镀膜设备;工件预处理;工件加热与离子刻蚀;CrN打底层的制备;TiN过渡层的制备;Ti(C,...
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