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玻璃基板层叠工具、玻璃基板的端面研磨方法及制造方法技术
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文档序号:8522075
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本发明的目的在于提供一种玻璃基板层叠工具、玻璃基板的端面研磨方法及制造方法,可提高端面研磨工序中的加工精度和生产率,容易操作,而且无需将玻璃基板层叠体解体即可进行外周端面研磨和内周端面研磨。该玻璃基板层叠工具用于将在中心部具有圆孔的圆盘形状...
该专利属于旭硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭硝子株式会社授权不得商用。
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