下载激光加工装置及使用激光加工装置的被加工物的加工方法的技术资料

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提供一种即使光束轮廓相对于行进方向并非各向同性,亦可减少朝正交的两个方向进行加工时的加工精度不均的激光加工装置及使用激光加工装置的被加工物的加工方法。激光加工装置的光学系统包括:分支机构,使从激光光源出射的激光分成第一分支光及第二分支光;转...
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