温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明为脉冲激光脆性材料微加工方法及系统，本方法为脉冲激光聚焦于处在水中的脆性材料工件表面进行微加工，激光脉冲频率大于2Hz，功率密度为GW/cm2量级，脉宽为20～50ns。脆性材料为硅、砷化镓、玻璃。本系统激光控制单元控制的脉冲激光器输...该专利属于桂林电子科技大学;湖南铁路科技职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过桂林电子科技大学;湖南铁路科技职业技术学院授权不得商用。