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本实用新型公开了一种运行稳定的变节距夹具,包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板,所述多层硅片搁置板之间具有间隙,每层间隙两端均设有间距垫片;所述间距垫片首端为薄部,尾端为厚部,中间为渐...该专利属于苏州罗博特科自动化设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州罗博特科自动化设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种运行稳定的变节距夹具,包括由顶板、底板以及两侧板围成的框架、位于框架内的沿两侧板内表面能够上下滑动的多层硅片搁置板,所述多层硅片搁置板之间具有间隙,每层间隙两端均设有间距垫片;所述间距垫片首端为薄部,尾端为厚部,中间为渐...