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一种等离子体辅助定向气相沉积工艺，其利用无污电弧定向气相沉积（SA-DVD）方法来在定向气相沉积设备中产生等离子体。通过电子或其他高强度定向能量束蒸发由被包含在水冷却坩埚中的一个或多个源材料产生蒸气。该蒸气被夹带在跨音速氦气或其他气体射流中...该专利属于弗吉尼亚大学专利基金会;弗劳恩霍弗实用研究促进协会所有，仅供学习研究参考，未经过弗吉尼亚大学专利基金会;弗劳恩霍弗实用研究促进协会授权不得商用。