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本发明涉及具有多个横向特征的声谐振器，公开了一种薄膜体声谐振器(FBAR)，其包括在腔体上方堆叠在衬底上的第一电极、堆叠在第一电极上的压电层以及堆叠在压电层上的第二电极。多个横向特征形成在第二电极的表面上，横向结构包括多个台阶结构。...
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