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一种准分子激光再生式放大器制造技术
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文档序号:8491290
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本发明公开了一种准分子激光再生放大器,包括依次位于同一光路上的第一反射镜、第一波片、耦合镜、放大腔、第二波片和第二反射镜;第一、第二波片均为四分之一波片,第一、第二反射镜为全反镜,且其反射面均朝向放大腔,耦合镜与放大腔的光轴之间的夹角等于耦...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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