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具有改进的隧穿势垒的磁隧道结制造技术
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文档序号:8490987
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具有改进的隧穿势垒的磁隧道结。本发明涉及一种制造适合于磁随机存取存储器(MRAM)的磁隧道结的方法,该磁隧道结包括第一铁磁层,隧穿势垒层以及第二铁磁层,该方法包括:形成第一铁磁层;形成隧穿势垒层;以及形成第二铁磁层;其中所述形成隧穿势垒层包...
该专利属于克罗科斯科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过克罗科斯科技公司授权不得商用。
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