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一种空间三维高精度机械式微力传感器制造技术
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文档序号:8488352
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本发明涉及空间三维高精度机械式微力传感器。本发明由三条柔性力传递支链通过卡槽固定在基座上,三条柔性力传递支路的顶端装有测力接触感应动平台,在柔性力传递支链装有硅基应变片,通过硅基应变片转换并传递待测力电压信号,并输出至多维力融合处理器中,通...
该专利属于江西理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过江西理工大学授权不得商用。
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