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迈克逊干涉仪对微小长度测量功能的改进制造技术
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文档序号:8488161
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本发明专利是在原迈克逊干涉仪的结构基础上进行了创新改造设计,在原迈克逊干涉仪实验仪器装置上,安装我们设计的配件,就可以对物体微小长度进行测量,精准度将提高到10-6mm。...
该专利属于杨振萍;邱荣;谢英英所有,仅供学习研究参考,未经过杨振萍;邱荣;谢英英授权不得商用。
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