下载用于制备准单晶硅铸锭的坩埚及准单晶硅铸锭的生长方法的技术资料

文档序号:8485417

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本发明公开了一种用于制备准单晶硅铸锭的坩埚,其底部内壁具有规则的空间分布的三维几何形状,规则的空间分布的三维几何形状由同一形状的凹坑在二维空间复制排列而形成;凹坑由空心的倒立棱锥、空心的第一倒立棱台和空心的第二倒立棱台组成,第二倒立棱台、第...
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