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本发明公开了一种基于纳米级高精度在线控制的热丝化学气相薄膜沉积生长设备装置，该设备除了传统的沉积腔体外置安装相连的真空系统、气路系统、电源控制系统外，新设计在沉积腔体内组合安装纳米级高精度伺服系统精密控制距离、纳米级高精度薄膜沉积生长厚度与...
该专利属于南通晶科超膜材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通晶科超膜材料有限公司授权不得商用。

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