温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种金属硫化物掺杂类金刚石复合薄膜的制备方法，特征是利用惰性气体离子束同时溅射含硫复合靶与石墨靶，同时离子束辅助轰击工件表面沉积制备金属硫化物掺杂类金刚石薄膜。具体实施步骤为：首先使用去离子水超声波清洗工件表面，利用惰性气体离子束对材料及靶...
该专利属于中国地质大学(北京)所有，仅供学习研究参考，未经过中国地质大学(北京)授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。