下载玻璃微结构加氢正压热成型方法的技术资料

文档序号:8482575

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本发明提供一种玻璃微结构加氢正压热成型方法,包括以下步骤:在衬底上刻蚀形成微型凹槽阵列;将玻璃片与上述衬底粘结,使得微型凹槽密封;将上述粘结好的玻璃片和衬底放置在高压氢气中加热,加热温度低于玻璃的软化点温度,并保温,使氢气渗透至微型凹槽内,...
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