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本发明所设计的一种同时含有高低阻的硅料清洗方法，将硅料投入氢氟酸或氢氟酸与氟化铵的混合溶液中浸泡，浸泡完后取出用水冲至中性；再将硅料投入王水中浸泡，浸泡完后取出用水冲至中性；配置氢氟酸和硝酸的混合溶液，将硅料放入塑料容器中，加入刚配好的混合...
该专利属于嘉兴嘉晶电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴嘉晶电子有限公司授权不得商用。

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