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一种无导向轮硅片传动装置，其特征在于包括：两根平行导轨、由该导轨支撑的传动辊轴和套在所述传动辊轴上的摩擦传动层，所述的传动辊轴的一端通过齿轮机构与主动传动系统相连接。本实用新型结构简单，能提高硅片的腐蚀均匀性，并降低在自动化生产中的碎片率。...
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