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一种用于装载扩散液态源的源瓶，包括瓶体，该瓶体设置有出口位于所述瓶体底部的进气管和入口位于所述瓶体上部的出气管，其特征在于：所述瓶体的底部设置有集源槽，所述进气管下端的进气孔设置于所述集源槽内；所述瓶体底部设置有加厚部，所述加厚部与所述集源...
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