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本实用新型公开了一种线性液位检测装置，包括槽体、设于槽体顶部的检测装置、和从槽体顶部插入到槽体底部的进液管。本实用新型结构简单，检测结果及时准确，能够有效控制硅片制作工艺过程中槽体内药液的体积和浓度。...
该专利属于常州捷佳创精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州捷佳创精密机械有限公司授权不得商用。

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