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加速度计100可以包括具有位于其上面的包括多个定子电极110（例如A、B和C）的定子电极阵列106的支撑结构104；以及与定子电极阵列平行地定位且能够实现与之平行的位移的检验质量102。面对定子电极阵列的转换器电极阵列108可以包括可以位于...
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