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本发明涉及一种用于使用一种或多种液态初始材料来涂布基板（15）的设备和方法。该基板通过下述方式进行涂布：将一种或多种液态初始材料雾化成微滴（3），在初始材料与基板（15）表面发生反应之前，在沉积腔室（16）内使微滴（3）汽化。根据本发明，在...
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