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级联放大式可调步长压电作动器制造技术
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文档序号:8454714
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一种级联放大式可调步长压电作动器,包括外部位移放大机构、套入外部位移放大机构内并和其固定的内部位移放大机构,以及置于外部位移放大机构内或置于外部位移放大机构和内部位移放大机构间的压电堆,外部位移放大机构和内部位移放大机构相互垂直放置;本发明...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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