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本发明涉及激光领域,具体涉及半导体激光器。反射式电子束泵浦紫外激光管包括一激励源、谐振腔,谐振腔生成在一衬底上,激励源采用一电子枪系统;谐振腔设置在电子枪系统的靶向方向上;谐振腔内设有半导体结构,半导体结构生成在衬底上,衬底上设有一层高禁带...该专利属于上海显恒光电科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海显恒光电科技股份有限公司授权不得商用。
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