下载肖特基二极管及其制作方法的技术资料

文档序号:8454114

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本发明提供一种肖特基二极管及制作方法,本发明所述肖特基二极管及制作方法通过设置第一掺杂区和第二掺杂区,所述第一掺杂区均匀分布在所述势垒区的内部,所述第二掺杂区形成于所述第一掺杂区和所述外延层表面之间且每一所述第二掺杂区与所述第一掺杂区一一对...
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