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一种Y型波导激光直写装置，由刻写光源，第一柱透镜，第二柱透镜，导轨、载物台和光学玻璃组成。激光经柱透镜组调制和干涉可实现成丝分叉现象，由于成丝对光学材料折射率的非线性光学调制作用而产生的波导效应，可以实现Y型波导的激光直写。本发明利用激光和...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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