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本发明涉及3D金属模具及其制造系统和方法。公开了一种制造3D模具以制造高产量低成本的亚微米3D结构产品的工艺。该工艺整合使用了双光子激光光刻和3D刻写技术以制备3D结构产品的每一层的3D模型，且利用纳米压印由该层的所述3D模具形成3D结构的...
该专利属于艳阳应用系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过艳阳应用系统公司授权不得商用。

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