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一种二维快速控制反射镜制造技术
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下载一种二维快速控制反射镜的技术资料
文档序号:8452242
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本发明公开了二维快速控制反射镜,包括反射镜片,第一、第二支架,第一柔性铰链,第一至第三压电驱动器,一级倾斜平台,底座,以及控制驱动系统;二支架对称固定在底座的一条中轴线上,一级倾斜平台位于二支架之间的下方,三个压电驱动器依次排列在一级倾斜平...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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