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本发明公开一种用于同时检测miRNAs与蛋白标记物的硅纳米线芯片，包括至少一种单链DNA探针在硅纳米线阵列中的集成排布以及蛋白标记物抗体在硅纳米线阵列中的集成排布。本发明还公开所述硅纳米线芯片的结构及制备工艺。本发明还公开所述硅纳米线芯片用...该专利属于华东师范大学;上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华东师范大学;上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。