下载组合压力/温度的紧凑型传感器组件的技术资料

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一种传感器组件包括矩形压力传感器元件和被耦合以从压力传感器元件接收信号的电子电路。传感器组件的开口式液密通道从传感器组件的入口开口部传送流体到矩形压力传感器元件的表面。传感器组件进一步包括封闭式的液密通道,其至少一部分用金属制造。封闭式液密...
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