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本发明公开了一种三维界面应力传感器，主要解决现有技术不能实时测量三维界面应力的问题。其包括顶层(1)、驱动电极(2)、中间层(3)、感应电极(4)和底层(5)。驱动电极(2)耦合于顶层(1)的下表面；中间层(3)由四个分隔柱(31,32,3...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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