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在坩埚炉中将硅熔融，向熔融硅表面通入纯氧，原子态的硅蒸汽与氧分子在气相反应生成一氧化硅，气流将生成的一氧化硅带出坩埚炉进入管式反应器，在管式反应器中进一步氧化为二氧化硅，出管式反应器后与常温空气在混合器中快速混合冷却，收集气流中的粉状产物。...
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