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一种形貌可控的一维硅纳米材料的制备方法技术
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文档序号:8447327
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本发明属半导体微电子、纳电子技术领域,具体为一种形貌可控的一维硅纳米材料的制备方法。该方法以硅(Si)和一氧化硅(SiO)混合粉末为原料,在较高温度和较低气压条件下,通过添加稀土元素镧(La)作为一种特别的气化调节剂来调节硅的一维纳米材料的...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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