下载规模化石墨烯制备工艺的技术资料

文档序号:8447316

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本发明公开了一种规模化石墨烯制备工艺,包括如下步骤:1)排除真空室内的杂质气体后,向真空室内通入催化气体;2)将石墨烯生长箔带中与加热装置对应的一段加热至设定的石墨烯生长温度;3)向真空室内通入碳源气体,并控制真空室内的压强为设定的石墨烯生...
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