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本发明涉及单晶硅晶圆抛光片的包装技术，特别涉及一种盛载单晶硅晶圆抛光片片盒的清洗工艺。本工艺步骤是：将英特格公司的非免洗片盒用去离子水通过旋转式片盒清洗机清洗，以实现干燥且洁净度较高的片盒，先将清洗机的湿度调至25±5%；温度调至90±10...
该专利属于天津中环领先材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津中环领先材料技术有限公司授权不得商用。

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