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一种类单晶硅太阳能电池用叠层减反射膜，在太阳能电池类单晶硅片（3）的前表面，从内至外依次设有ZnO空心球薄膜（2）和氮化硅薄膜（1）；ZnO薄膜（2）的厚度为15~20nm；氮化硅薄膜（1）的厚度为30~40nm。本实用新型所用的ZnO空心...该专利属于东方电气集团（宜兴）迈吉太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方电气集团（宜兴）迈吉太阳能科技有限公司授权不得商用。