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本实用新型涉及一种石墨舟陶瓷圈，其主体为圆环状结构，包括外表面，内表面，内表面上开设导流槽；所述外表面直径为8mm；内表面直径为?6.3?mm。本实用新型结构简单，实用；形状尺寸合适，便于放入硅片，不易发生硅片因碰撞陶瓷圈而碎裂；直径小，轻...
该专利属于常州市立新石墨有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州市立新石墨有限公司授权不得商用。

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