下载壳体检测气体回收装置的技术资料

文档序号:8437249

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本实用新型公开了壳体检测气体回收装置,包括与被检工件相连的管道,所述管道上设置有连接真空装置的第七阀体,所述管道的一个支路通过第一阀体连接储气罐一端,所述储气罐另一端依次通过第五阀体以及第四阀体连接低压罐一端,所述管道的另一支路通过第二阀体...
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