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本实用新型公开了一种定位测量仪，包括一测量长杆，所述测量长杆为自由伸缩测量长杆；所述测量长杆顶部设置一测距仪；在所述测量长杆位于所述测距仪下方设置至少一个固定抓。采用本实用新型的定位测量仪，测量仪器每次测量都位于同一目标位置，而且测量过程中...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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