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本发明实施例公开了一种制造硅基增强红外吸收光电探测器的方法，包括：提供硅衬底材料；在硅衬底材料上形成周期性槽状结构，获得红外吸收增强层；在红外吸收增强层上形成势垒增强层；在势垒增强层上形成电极层。本发明的实施例中，红外吸收增强层包括周期性槽...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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