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本发明公开了一种测量物体表面形貌的方法,该方法采用飞秒激光光梳光源,为新型的非接触式光学表面形貌成像方法,结合了双光梳拍频探测技术和脉冲空间啁啾技术,将空间位置信息测量转换为对探测光频谱可分辨测量,实现更高分辨精度的超灵敏光学表面形貌探测;...该专利属于广东汉唐量子光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东汉唐量子光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种测量物体表面形貌的方法,该方法采用飞秒激光光梳光源,为新型的非接触式光学表面形貌成像方法,结合了双光梳拍频探测技术和脉冲空间啁啾技术,将空间位置信息测量转换为对探测光频谱可分辨测量,实现更高分辨精度的超灵敏光学表面形貌探测;...