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一种双活塞串联驱动的压电叠堆泵制造技术
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文档序号:8411230
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本发明涉及一种双活塞串联驱动的压电叠堆泵,属于微流体传输与控制领域。泵体上固定有上壳体和下端盖;泵体与上壳体之间压接有弹性隔膜,压缩腔活塞通过螺钉与弹性隔膜及顶块连接,调节螺钉通过防扭垫片将置于上壳体内腔中的压电叠堆挤压在顶块上;泵腔活塞小...
该专利属于浙江师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江师范大学授权不得商用。
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